HMDS烘箱的工作流程
更新时间:2014-5-3 12:41:36

  和呈的HMDS烘箱其工作流程首先是确定烘箱工作温度,典型的预处理流程为:

                    HMDS烘箱

  1、打开真空泵抽真空,待腔内真空度达到某一高真空度后,开始充入氮气;

  2、充到达到某低真空度后,再次进行抽真空,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分;

  3、然后再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应。

  4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。

  HMDS与硅片反应机理:首先加热到100度-200度,去除硅片表面的水分,然后HMDS与表面的OH一反应,在硅片表而成硅醚,消除氢键作,从而使极性表面变成非极性表面,整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。